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  • 所属分类:山东冷冻机维修

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  • 发布日期:2020/03/26
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冷冻机工作原理:通常在高真空腔内,水气分子是最典型的污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10-4 mbar 时,水汽分子会非常难抽,为了快速的达到较高的真空度, 研发出水汽深冷泵,快速吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,极短的时间达到10-8 mbar 高真空。

Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机,通过使用zhuanli的 无毒环保型冷媒,利用麦斯纳(Meissner)吸收原理,使水气分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中,根据客户腔体定制。

应用:真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量, 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 100%!

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冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。
组成:

A: 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)

B:外部冷凝管(外部连接管)

C:Feedthrough

D:真空腔

E:冷盘(低温盘管)

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